半導体デバイスベースの化学的および生物学的実体のセンシングは、マイクロおよびナノスケールの電界効果デバイスおよびそれに近い変種の使用を通じて実証されています。カーボン ナノチューブとシリコン ナノワイヤは単一分子バイオセンサーとして実証されていますが、これらのデバイスの作成に使用されている製造方法は通常、現代の半導体製造技術と互換性がなく、大規模集積には問題があります。これらの欠点は、ナノワイヤ状構造の実現をもたらしたマイクロエレクトロニクス製造技術の最近の進歩によって解決されている。ここでは、このような技術を使用して正確な位置にシリコンナノワイヤを製造する方法を報告します。私たちの方法により、高密度アレイを生成できる真に統合されたセンサーの実現が可能になります。
集積ナノスケールデバイスの関連ジャーナル
ACS Nano、Advanced Functional Materials、Journal of Physical Chemistry Letters、Biomaterials、Small、Nano Research
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